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本发明提供一种芯片清洗用二氧化碳的伴冷系统及输送系统，该芯片清洗用二氧化碳的伴冷系统包括原料储罐、第一输送管路、缓冲储罐、隔膜泵和冷冻机，原料储罐、第一输送管路和缓冲储罐依次连通，第一输送管路用于输送液态二氧化碳，隔膜泵位于原料储罐和缓冲储...
该专利属于广州广钢气体能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州广钢气体能源股份有限公司授权不得商用。

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