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本技术公开了一种抛光设备，抛光设备包括：基板，基板上设置有相互间隔的抛光盘和储液件；抛光液臂，抛光液臂设置于基板，抛光液臂设置有气液混合阀，气液混合阀内设置有气体进口、液体进口和出口，气体进口用于与高压气体选择性地相连通，液体进口与储液件或...
该专利属于铭扬半导体科技（合肥）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过铭扬半导体科技（合肥）有限公司授权不得商用。

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