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一种通过电场调控响应波段的氧化镓基深紫外探测器及其制备方法技术
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下载一种通过电场调控响应波段的氧化镓基深紫外探测器及其制备方法的技术资料
文档序号:40314136
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本发明公开了一种通过电场调控响应波段的氧化镓基深紫外探测器及其制备方法,包括:由上而下依次设置的金属电极(1)、修饰层(2)、光吸收层(3)和衬底(4),所述金属电极(1)与所述光吸收层(3)之间形成欧姆接触,所述光吸收层(3)为Ga<...
该专利属于北京镓和半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京镓和半导体有限公司授权不得商用。
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