下载感光化射线性或感放射线性树脂组成物、膜、图案形成方法及电子器件的制造方法的技术资料

文档序号:40312895

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本发明提供一种曝光宽容度性能优异的感光化射线性或感放射线性树脂组成物。感光化射线性或感放射线性树脂组成物包含(A)通过酸的作用而碱可溶性增大的树脂、(C)通过光化射线或放射线的照射而产生酸的化合物、及(S)含有沸点为130~150℃的溶剂S...
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