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可以提出一种衬底处理设备。该设备包括配置成保持衬底的反应室、根据配方在衬底上沉积层的沉积系统、包括计算器的自动沉积补偿系统，该计算器被编程为：根据在反应室中运行的配方计算由沉积系统沉积在反应室内部的累积层厚度(x),并且根据累积层厚度(x)...
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