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本发明提供一种能够抑制研磨液导致的遮蔽并测定基板的表面温度的研磨装置。研磨装置具备：通过检测微波来生成微波检测数据的微波检测传感器(51)；以及基于微波检测数据来决定基板(W)的表面温度的控制装置(100)。...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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