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基于p型Ga2O3的MOSFET器件及其制备方法技术
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下载基于p型Ga2O3的MOSFET器件及其制备方法的技术资料
文档序号:40312824
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本发明公开了一种基于p型Ga2O3的MOSFET器件,主要解决现有氧化镓器件难以制备同质结、异质结器件性能较差、缺乏p型Ga2O3材料的问题。其自下而上包括:源电极S、衬底层,漂移层、p型氧化镓层、二氧化硅层、漏电极D、栅电极G,其中,衬底...
该专利属于山东省工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过山东省工业技术研究院授权不得商用。
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