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本发明公开了一种磁控溅射镀膜机中的靶体自动可调伸缩装置，包括镀膜室、镀膜室侧壁板、耳室、耳室围板、耳室侧壁板、靶体、滑动密封机构和伸缩装置，所述镀膜室的右侧设置有耳室，所述耳室的内部设置有靶体，所述耳室侧壁板的右侧设置有伸缩装置，所述耳室侧...
该专利属于宁波市丹科真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波市丹科真空科技有限公司授权不得商用。

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