一种磁控溅射镀膜机中的靶体自动可调伸缩装置制造方法及图纸

技术编号：40301063 阅读：4 留言：0更新日期：2024-02-07 20:48

本发明专利技术公开了一种磁控溅射镀膜机中的靶体自动可调伸缩装置，包括镀膜室、镀膜室侧壁板、耳室、耳室围板、耳室侧壁板、靶体、滑动密封机构和伸缩装置，所述镀膜室的右侧设置有耳室，所述耳室的内部设置有靶体，所述耳室侧壁板的右侧设置有伸缩装置，所述耳室侧壁板的右侧设置有滑动密封机构，所述镀膜室侧壁板与耳室围板通过内六角螺钉一固定连接，所述耳室围板的右侧与耳室侧壁板固定连接。本发明专利技术涉及一种磁控溅射镀膜机中的靶体自动可调伸缩装置，可对靶体的位置进行自动、流畅的伸缩调节处理，进而对靶基距进行调整，以保证对不同镀膜产品的镀膜效果。

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于磁控溅射镀膜机，具体为一种磁控溅射镀膜机中的靶体自动可调伸缩装置。

技术介绍

1、随着各行各业的飞速发展，越来越多领域的产品表面需要镀膜，如装饰功能膜、精密光学膜、光电功能膜、工模具超硬膜、工模具润滑膜等，利用磁控溅射方式沉积镀膜是主流镀膜技术之一，因此各种类型磁控溅射镀膜机被镀膜行业广泛应用；

2、其技术核心是磁控溅射机构，在磁控溅射镀膜机镀膜作业过程中，最关键的工艺参数是：靶基距(溅射靶材表面到被镀膜产品表面之间的距离)。靶基距越近，沉积速率越快，但由于沉积粒子绕射能力差，会导致产品表面膜层均匀性变差；

3、靶基距越远，沉积速率越慢，同时沉积粒子的能量和密度会变低，会导致产品表面膜层质量变差，因此为了得到均匀性好并且质量高的膜层，就要严格控制靶基距，使其保持在最优的参数范围内。

4、但是，现有的磁控溅射镀膜机还存在一定的不足：现有的磁控溅射镀膜机分为两种形式：一种形式是将靶体固定安装在镀膜室的侧壁板上，靶体与产品之间距离不可调节，无法满足工艺需求；

5、另一种形式将靶体固定安装在镀膜室的侧壁板上，通过手摇螺杆方式或者直线气缸方式，调节靶体与产品之间距离，由于手摇螺杆方式移动较费劲、不够平稳，并且只能手动操作，无法实现自动化工艺操作；

6、而直线气缸方式可调节距离短、精准度差、操作复杂，并且故障率比较高，无法精准稳定使用，使用局限性比较大。因此，需要进行改进。

技术实现思路

1、本专利技术的目的就在于为了解

2、为了解决上述问题，本专利技术提供了一种技术方案：

3、一种磁控溅射镀膜机中的靶体自动可调伸缩装置，包括镀膜室、镀膜室侧壁板、耳室、耳室围板、耳室侧壁板、靶体、滑动密封机构和伸缩装置，所述镀膜室的右侧设置有耳室，所述耳室的内部设置有靶体，所述耳室侧壁板的右侧设置有伸缩装置，所述耳室侧壁板的右侧设置有滑动密封机构，所述镀膜室侧壁板与耳室围板通过内六角螺钉一固定连接，所述耳室围板的右侧与耳室侧壁板固定连接。

4、作为优选，所述靶体包括靶材、靶座机构、绝缘机构、屏蔽罩、靶支杆，所述耳室侧壁板的内部设置有靶支杆，所述靶支杆的左侧接触有靶座机构，所述靶座机构的内部设置有绝缘机构，所述靶座机构的左侧设置有靶材，所述靶座机构的外侧设置有屏蔽罩，所述屏蔽罩的内部设置有绝缘机构，所述绝缘机构与靶座机构接触，通过靶座机构、绝缘机构等结构的设置，可对靶体进行安装使用，使靶支杆与靶座机构之间绝缘。用于后续对镀膜产品进行镀膜处理。

5、作为优选，所述靶支杆的内部活动连接有内六角螺钉二，所述内六角螺钉二与靶座机构通过螺纹连接，通过内六角螺钉二设置，可对靶支杆与靶座机构进行固定处理。

6、作为优选，所述滑动密封机构包括密封盖、骨架油封、密封座、滑动内套、滑动隔圈和滑动外套，所述耳室侧壁板的内部设置有滑动外套，所述滑动外套与靶支杆接触，所述滑动外套的右侧接触有密封座，所述密封座的内部活动连接有外六角螺钉一，所述外六角螺钉一与滑动外套活动连接，所述外六角螺钉一与耳室侧壁板通过螺纹连接，所述密封座的内侧设置有滑动内套，所述滑动内套与靶支杆接触，所述滑动内套的左侧设置有滑动隔圈，所述滑动隔圈与靶支杆接触，所述滑动隔圈与密封座接触，所述密封座的内侧设置有两个骨架油封，其中左侧的所述骨架油封与靶支杆、滑动隔圈、滑动外套接触，另外右侧的所述骨架油封与滑动内套、靶支杆接触，另外右侧的所述骨架油封的右侧设置有密封盖，通过骨架油封的方式进行密封，使得密封方式简单、可靠，并在滑动内套、滑动隔圈、滑动外套等结构的配合作用下，使得伸缩运动会更为流畅。

7、作为优选，所述密封盖的内部活动连接有外六角螺钉二，所述外六角螺钉二与密封座通过螺纹连接，通过外六角螺钉二的设置，可对密封盖与密封座进行固定安装。

8、作为优选，所述伸缩装置包括固定环、调节板、导向杆固定板、丝杆固定顶板、丝杆固定底板、丝杆、导向杆、伺服电机安装板、同步带调节块、接近开关感应板、接近开关安装板、深沟球轴承、轴用弹性挡圈、丝杆螺母、方法兰直线轴承、同步轮一、同步轮二、同步带、减速机、伺服电机、伺服驱动器和接近开关，所述耳室侧壁板的右侧接触有丝杆固定底板，所述丝杆固定底板的内部活动连接有内六角螺钉三，所述内六角螺钉三与耳室侧壁板通过螺纹连接，所述丝杆固定底板的前后两面均设置有导向杆固定板，所述导向杆固定板之间设置有丝杆固定顶板，所述导向杆固定板之间且位于丝杆固定顶板的左侧设置有调节板，所述调节板的内部设置有固定环，所述固定环与靶支杆之间通过螺钉固定，所述丝杆固定底板的内部接触有导向杆，所述丝杆固定底板的内部活动连接有外六角螺钉三，所述外六角螺钉与导向杆通过螺纹连接，所述导向杆的右侧与丝杆固定顶板接触，所述丝杆固定顶板的内部活动连接有外六角螺钉四，所述外六角螺钉四与导向杆通过螺纹连接，所述调节板的内部通过螺钉安装有方法兰直线轴承，所述方法兰直线轴承与导向杆接触，通过导向杆和方法兰直线轴承等结构的共同配合方式，使得伸缩运动不会出现卡顿现象。

9、作为优选，所述丝杆固定底板的内部设置有深沟球轴承，所述深沟球轴承的左侧设置有轴用弹性挡圈，所述深沟球轴承的内部设置有丝杆，所述丝杆与轴用弹性挡圈接触，所述调节板的内部通过螺钉安装有丝杆螺母，所述丝杆螺母与丝杆接触，所述丝杆固定顶板的内部设置有深沟球轴承二，所述深沟球轴承二与丝杆接触，所述丝杆的外侧设置有同步轮一，所述丝杆固定顶板的右侧设置有伺服电机安装板，所述伺服电机安装板的左侧设置有减速机，所述减速机的输出轴与伺服电机安装板转动连接，所述减速机的输出轴的外侧设置有同步轮二，所述同步轮二和同步轮一的表面共同设置有同步带，所述丝杆固定顶板的右左侧设置有同步带调节块，所述减速机的左侧设置有伺服电机，所述伺服电机的左侧设置有伺服驱动器，通过伺服电机提供动力，在伺服驱动器、减速机的配合使用下，使得伺服电机输出的动力更加平稳、连续，在同步轮一、同步轮二、同步带等结构的作用下，可驱动丝杆进行转，通过丝杆与丝杆螺母等结构的配合使用，使得靶体进行伸缩运动，且丝杆伸缩运动更为稳定，靶支杆不会晃动，能实现更好的滑动。

10、作为优选，所述调节板的左侧设置有接近开关感应板，所述丝杆固定顶板的左侧设置有接近开关安装板，所述接近开关安装板的内侧设置有接近开关，通过接近开关、接近开关感应板等结构的设置，以实现对靶体伸缩进行控制，能更为精准的控制伸缩的距离。

11、本专利技术的有益效果是：本专利技术涉及一种磁控溅射镀膜机中的靶体自动可调伸缩装置，可对靶体的位置进行自动、流畅的伸缩调节处理，进而对靶基距进行调整，以保证对不同镀膜产品的镀膜效果，在具体的使用中，与传统的磁控溅射镀膜机相比较而言，具有以下有益效果：

12、通过设置靶体、靶材、靶座机构、绝缘机构、滑动密封机构、密封盖、骨架油封、密封座、滑动内套、伸缩装置、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种磁控溅射镀膜机中的靶体自动可调伸缩装置，包括镀膜室(1)、镀膜室侧壁板(11)、耳室(2)、耳室围板(21)、耳室侧壁板(22)、靶体(3)、滑动密封机构(4)和伸缩装置(5)，其特征在于：所述镀膜室(1)的右侧设置有耳室(2)，所述耳室(2)的内部设置有靶体(3)，所述耳室侧壁板(22)的右侧设置有伸缩装置(5)，所述耳室侧壁板(22)的右侧设置有滑动密封机构(4)，所述镀膜室侧壁板(11)与耳室围板(21)通过内六角螺钉一固定连接，所述耳室围板(21)的右侧与耳室侧壁板(22)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜机中的靶体自动可调伸缩装置，其特征在于：所述靶体(3)包括靶材(31)、靶座机构(32)、绝缘机构(33)、屏蔽罩(34)、靶支杆(35)，所述耳室侧壁板(22)的内部设置有靶支杆(35)，所述靶支杆(35)的左侧接触有靶座机构(32)，所述靶座机构(32)的内部设置有绝缘机构，所述靶座机构(32)的左侧设置有靶材(31)，所述靶座机构(32)的外侧设置有屏蔽罩(34)，所述屏蔽罩(34)的内部设置有绝缘机构(33)，所述绝缘机构(33)与靶座机构(32)接触。

3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射镀膜机中的靶体自动可调伸缩装置，其特征在于：所述靶支杆(35)的内部活动连接有内六角螺钉二，所述内六角螺钉二与靶座机构(32)通过螺纹连接。

4.根据权利要求2所述的一种磁控溅射镀膜机中的靶体自动可调伸缩装置，其特征在于：所述滑动密封机构(4)包括密封盖(41)、骨架油封(42)、密封座(43)、滑动内套(44)、滑动隔圈(45)和滑动外套(46)，所述耳室侧壁板(22)的内部设置有滑动外套(46)，所述滑动外套(46)与靶支杆(35)接触，所述滑动外套(46)的右侧接触有密封座(43)，所述密封座(43)的内部活动连接有外六角螺钉一，所述外六角螺钉一与滑动外套(46)活动连接，所述外六角螺钉一与耳室侧壁板(22)通过螺纹连接，所述密封座(43)的内侧设置有滑动内套(44)，所述滑动内套(44)与靶支杆(35)接触，所述滑动内套(44)的左侧设置有滑动隔圈(45)，所述滑动隔圈(45)与靶支杆(35)接触，所述滑动隔圈(45)与密封座(43)接触，所述密封座(43)的内侧设置有两个骨架油封(42)，其中左侧的所述骨架油封(42)与靶支杆(35)、滑动隔圈(45)、滑动外套(46)接触，另外右侧的所述骨架油封(42)与滑动内套(44)、靶支杆(35)接触，另外右侧的所述骨架油封(42)的右侧设置有密封盖(41)。

5.根据权利要求4所述的一种磁控溅射镀膜机中的靶体自动可调伸缩装置，其特征在于：所述密封盖(41)的内部活动连接有外六角螺钉二，所述外六角螺钉二与密封座(43)通过螺纹连接。

6.根据权利要求2所述的一种磁控溅射镀膜机中的靶体自动可调伸缩装置，其特征在于：所述伸缩装置(5)包括固定环(51)、调节板(52)、导向杆固定板(53)、丝杆固定顶板(54)、丝杆固定底板(55)、丝杆(56)、导向杆(57)、伺服电机安装板(58)、同步带调节块(59)、接近开关感应板(510)、接近开关安装板(511)、深沟球轴承(512)、轴用弹性挡圈(513)、丝杆螺母(514)、方法兰直线轴承(515)、同步轮一(516)、同步轮二(5161)、同步带(517)、减速机(518)、伺服电机(519)、伺服驱动器(520)和接近开关(521)，所述耳室侧壁板(22)的右侧接触有丝杆固定底板(55)，所述丝杆固定底板(55)的内部活动连接有内六角螺钉三，所述内六角螺钉三与耳室侧壁板(22)通过螺纹连接，所述丝杆固定底板(55)的前后两面均设置有导向杆固定板(53)，所述导向杆固定板(53)之间设置有丝杆固定顶板(54)，所述导向杆固定板(53)之间且位于丝杆固定顶板(54)的左侧设置有调节板(52)，所述调节板(52)的内部设置有固定环(51)，所述固定环(51)与靶支杆(35)之间通过螺钉固定，所述丝杆固定底板(55)的内部接触有导向杆(57)，所述丝杆固定底板(55)的内部活动连接有外六角螺钉三，所述外六角螺钉与导向杆(57)通过螺纹连接，所述导向杆(57)的右侧与丝杆固定顶板(54)接触，所述丝杆固定顶板(54)的内部活动连接有外六角螺钉四，所述外六角螺钉四与导向杆(57)通过螺纹连接，所述调节板(52)的内部通过螺钉安装有方法兰直线轴承(515)，所述方法兰直线轴承(515)与导向杆(57)接触。

7.根据权利要求6所述的一种磁控溅射镀膜机中的靶体自动可调伸缩装置，其特征在于：所述丝杆固定底板(55)的内部设置有深沟球轴承(...

【技术特征摘要】

6.根据权利要求2所述的一种磁控溅射镀膜机中的靶体自动可调伸缩装置，其特征在于：所述伸缩装置(5)包括固定环(51)、调节板(52)、导向杆固定板(53)、丝杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：程威，陈良锦，刘英林，程小勇，
申请(专利权)人：宁波市丹科真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：

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