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本申请实施例提供一种显影装置、显影方法及涂胶显影系统。涉及半导体制造设备技术领域。主要提供一种克服关键尺寸不均匀的显影装置。该显影装置包括喷淋盘、控制器和多个显影液控制开关；喷淋盘内形成有显影液喷淋腔和去离子水喷淋腔，喷淋盘形成有与显影液喷...
该专利属于华为技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华为技术有限公司授权不得商用。

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