下载CMOS图像传感器及其形成方法的技术资料

文档序号:40292037

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本发明涉及一种CMOS图像传感器及其形成方法。所述CMOS图像传感器中,形成于基底上的LOFIC电容耦接至所述基底中的浮置扩散区,可用于选择性地增大所述浮置扩散区节点的电容容量,所述LOFIC电容的下极板覆盖于第一层间介质层中的贯通孔内壁,...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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