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一种异质结肖特基势垒二极管及其制备方法技术
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文档序号:40291263
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本发明提供的一种异质结肖特基势垒二极管,与传统肖特基二极管相比,在结构上使n‑掺杂层厚度减小形成倾斜台面,同时使用了金属相二维材料代替传统金属作为场板,利用了金属相二维材料的高导电性、层间空间大的优势以及倾斜台面的结构缓解了电场聚集效应,提...
该专利属于深圳大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳大学授权不得商用。
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