温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体新材料制备领域，针对现有的人工物理清洗小尺寸反应釜的内侧壁，需要耗费的时间过多，导致清洗效率较低的问题，提供了一种半导体新材料制备用小尺寸反应釜，包括釜体，釜体的顶部可拆卸连接有釜盖，釜盖的顶部设有用于搅拌原料的搅拌件，搅拌...
该专利属于广东林工工业装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东林工工业装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。