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本技术涉及半导体制造技术领域，提供了一种测压装置及离子注入设备，所述测压装置包括：安装件、离子真空计以及第一控制件；所述安装件内设置有通道，所述离子真空计设置于安装件并密封于所述通道的第一端，所述通道的第二端用于与工艺腔连通；所述第一控制件...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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