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本发明提供一种压电振动元件的制造方法至少包括以下步骤。提供石英晶圆。全面地分别形成第一金属材料层与第二金属材料层于石英晶圆的第一表面与第二表面上。全面地分别形成第一光阻材料层与第二光阻材料层于第一金属材料层与第二金属材料层上。仅对第一光阻材...
该专利属于台湾晶技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾晶技股份有限公司授权不得商用。

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