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镀覆装置制造方法及图纸
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下载镀覆装置的技术资料
文档序号:40279611
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提供一种可清洗触点清洗部件的镀覆装置。镀覆装置包括:镀覆槽,构成为收容镀覆液;基板保持器,构成为保持被镀覆面朝向下方的基板,且具有用于对基板供电的触点部件;触点清洗部件(482),用于在位于镀覆槽与基板保持器之间的清洗位置时朝向触点部件排出...
该专利属于株式会社荏原制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。
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