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本申请公开了一种晶圆抛光装置、晶圆抛光系统以及晶圆抛光方法，晶圆抛光装置，包括：抛光盘组件；抛光头驱动组件，用于驱动至少三个抛光头在抛光盘组件上对晶圆进行抛光；供液组件，与抛光头一一对应，用于为抛光头供给抛光液；抛光盘组件还包括设置在中心的...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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