下载一种图案化结构色加工装置与加工方法的技术资料

文档序号:40278604

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本发明属于激光干涉光刻技术领域,尤其为一种图案化结构色加工装置,包括激光光源、反射镜一、分光镜、反射镜二、偏振片、波片、棱镜、透镜、二维移动平台;激光光源为纳秒脉冲激光器、皮秒脉冲激光器或飞秒脉冲激光器所述激光光源放置在光学气浮平台上;反射...
该专利属于长春理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学授权不得商用。

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