下载半导体结构及其制备方法的技术资料

文档序号:40276950

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本申请涉及一种半导体结构及其制备方法。其中,半导体结构包括:衬底、绝缘层、外延层与电极。所述绝缘层位于所述衬底上。所述外延层位于所述绝缘层背向所述衬底的一侧,所述绝缘层位于所述衬底与所述外延层之间。所述电极包括源极、栅极与漏极,且位于所述外...
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