下载一种栅极下方具有P型空间层的SiC LIGBT及制备方法的技术资料

文档序号:40275310

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本发明提供一种栅极下方具有P型空间层的SiC LIGBT及制备方法,该SiC LIGBT包括:P型空间层;所述P型空间层位于栅极与漂移层之间,并与栅极氧化层、N+区、P+区和漂移层邻接。本发明在沟槽栅极下方引入了P型空间层,因为P型空间层的...
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