温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种电子级三氟化硼的生产系统及其生产方法，生产系统包括依次连接的第一过滤器、第一除尘器、第一吸附塔、第二吸附塔、第二除尘器、第二过滤器、预精馏塔、脱轻塔、脱重塔、第三过滤器、中间储罐、隔膜压缩机；其中，第一吸附塔的吸附温度为10℃...
该专利属于深圳市中核海得威生物科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市中核海得威生物科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。