下载物理量传感器以及惯性测量装置的技术资料

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物理量传感器以及惯性测量装置,能够避免伴随可动体的对称性的不良情况。物理量传感器(1)包含固定部(40)、支承梁(42)、可动体(MB)、第1固定电极部(10A)和第2固定电极部(50A)。可动体具有第1连结部(30)、第1基部(23A)、...
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