【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及物理量传感器以及惯性测量装置等。
技术介绍
1、在专利文献1中，公开了一种对z方向上的加速度进行检测的物理量传感器。公开了在该物理量传感器中，多个第1电极中的1个沿着第1方向的第1电极长度比第1导电部的沿着第1方向的第1导电部长度短。此外，公开了在该物理量传感器中，多个第2电极中的1个的沿着第1方向的第2电极长度比第2导电部的沿着第1方向的第2导电部长度短。
2、专利文献1：日本特开2021-032819号公报
3、在专利文献1所公开的物理量传感器中，从作为扭簧的连接部到设置于两侧的梳齿电极的距离不同，正负的检测特性的线性有可能产生不良情况。
技术实现思路
1、本公开的一个方式涉及一种物理量传感器，其在将相互垂直的3个方向设为第1方向、第2方向以及第3方向时，对所述第3方向上的物理量进行检测，其中，该物理量传感器包含：固定部，其固定于基板；支承梁，其一端与所述固定部连接，沿着所述第2方向设置；可动体，其与所述支承梁的另一端连接；以及第1固定电极部和第2固定电极部，它们设置于所述基板，所述可动体包含：第1连结部，其与所述支承梁的另一端连接，从所述支承梁起向所述第1方向延伸；第1基部，其与所述第1连结部连接，沿着所述第2方向设置；第1可动电极部，其从所述第1基部起向所述第1方向延伸，具有在所述第2方向上与所述第1固定电极部的第1固定电极对置的第1可动电极；第2连结部，其与所述支承梁的另一端连接，从所述支承梁起向所述第1方向的相反方向即第4方向延伸；
2、另外，本公开的另一方式涉及一种惯性测量装置，其包含：以上记载的物理量传感器；以及控制部，其基于从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种物理量传感器，其在将相互垂直的3个方向设为第1方向、第2方向以及第3方向时，对所述第3方向上的物理量进行检测，其中，该物理量传感器包含：
2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，
5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，
6.根据权利要求1至4中的任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，
7.根据权利要求1至4中的任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，
8.根据权利要求1至4中的任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，
9.根据权利要求1至4中的任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，
10.根据权利要求1至4中的任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，
11.根据权利要求1至4中的任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，
12.根据权利要求1至4中的任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，该物理量传感
13.根据权利要求1至4中的任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，
14.一种惯性测量装置，其特征在于，该惯性测量装置包含：
...【技术特征摘要】
1.一种物理量传感器，其在将相互垂直的3个方向设为第1方向、第2方向以及第3方向时，对所述第3方向上的物理量进行检测，其中，该物理量传感器包含：
2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，
5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，
6.根据权利要求1至4中的任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，
7.根据权利要求1至4中的任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，<...
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