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一种四氟化碳的纯化方法技术
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下载一种四氟化碳的纯化方法的技术资料
文档序号:4026584
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本发明公开了一种四氟化碳的纯化方法,其包括如下步骤:1)将含有H2、O2、N2、C2F6、CO2、CO、SF6、C3F8、H2O杂质的四氟化碳气体充入闪蒸塔中,闪蒸塔内的温度冷却至-180~-130℃,压强降至1×104Pa以下抽真空除去一...
该专利属于石平湘所有,仅供学习研究参考,未经过石平湘授权不得商用。
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