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本技术公开了一种晶圆检测分拣系统，包括设置分拣台上的晶圆存储装置、机械臂、转运盘、检测装置和晶圆分类储存装置；所述机械臂位于分拣台的中部，转运盘与机械臂的自由端连接，转运盘上设置有多个气腔，晶圆片用于悬浮在气腔的顶部，并且晶圆片与气腔之间形...
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