下载腔内接触的高速光子-光子共振面发射激光器的技术资料

文档序号:40256461

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本发明涉及半导体激光器领域,提供一种腔内接触的高速光子‑光子共振面发射激光器,包括N型衬底,在N型衬底上依次制备有N型接触层、N型DBR层、有源层、P型接触层和P型DBR层,在P型接触层和有源层之间和/或者N型接触层与有源层之间制备有电流限...
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