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本技术公开了一种晶圆盒清洗装置，以及包括该清洗装置的晶圆盒清洗设备。其中，清洗装置包括清洗槽、第一传输机构与第二传输机构，清洗槽用于对载具中的晶圆盒进行清洗，清洗槽具有能够容纳载具的内腔；第一传输机构用于在内腔的上方沿水平方向传输载具；第二...
该专利属于江苏芯梦半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏芯梦半导体设备有限公司授权不得商用。

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