下载晶圆电解阳极的技术资料

文档序号:40252402

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本技术涉及工装技术领域,尤其涉及一种晶圆电解阳极,包括电解阳极,所述电解阳极上沿自身厚度方向开设有溶液喷射口。本技术的晶圆电解阳极,通过溶液喷射口来喷射电解溶液,晶圆镀件附近的电解溶液处于流动畅通的状态,解决了晶圆边缘区域与中间区域电解金属...
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