温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术公开了一种新型蒸镀坩埚装置,涉及蒸镀坩埚技术领域。所述装置包括:加热丝,绕设于所述坩埚外部,用于加热使坩埚升温;两坩埚罩,可分离地相对设置于所述坩埚的外部,且拼合后包裹于所述坩埚四周,用于对坩埚进行保温,当坩埚需要冷却时,两坩埚罩可分...该专利属于华映科技(集团)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华映科技(集团)股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术公开了一种新型蒸镀坩埚装置,涉及蒸镀坩埚技术领域。所述装置包括:加热丝,绕设于所述坩埚外部,用于加热使坩埚升温;两坩埚罩,可分离地相对设置于所述坩埚的外部,且拼合后包裹于所述坩埚四周,用于对坩埚进行保温,当坩埚需要冷却时,两坩埚罩可分...