一种新型蒸镀坩埚装置制造方法及图纸

本技术公开了一种新型蒸镀坩埚装置，涉及蒸镀坩埚技术领域。所述装置包括：加热丝，绕设于所述坩埚外部，用于加热使坩埚升温；两坩埚罩，可分离地相对设置于所述坩埚的外部，且拼合后包裹于所述坩埚四周，用于对坩埚进行保温，当坩埚需要冷却时，两坩埚罩可分离并远离坩埚；腔壁，用于形成一可抽真空的容置空间；两冷却板，可分离地相对设置于所述坩埚的外部，在两坩埚罩分离时，两冷却板可向所述坩埚方向移动至与坩埚外壁接触，且底部与腔壁内壁的底面接触；多个传热翅片，与所述冷却板连接且位于所述腔壁内部容置空间内。本技术可实现在坩埚加热时的保温以及在坩埚冷却时快速降温，提高了热量传递效率，缩短了降温时间。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及蒸镀坩埚，具体涉及一种新型蒸镀坩埚装置。

技术介绍

1、在有机发光二极管(organic light emitting diode)oled显示器具备自发光特性，低功耗，宽视角，响应速度快，超轻超薄，抗震性好等特点，使用温度范围宽，可实现柔性显示与大面积全色显示等优势，被业界公认为是最有发展潜力的显示装置；

2、oled显示器件通常由阳极、阴极、以及夹在阳极和阴极之间的有机电致发光材料层组成，其中有机电致发光材料层又包括空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、及电子注入层。oled显示器件的发光机理是从阴、阳两级分别注入电子和空穴，被注入的电子和空穴经传输在发光层内复合，从而激发发光层分子产生单态激子，单态激子辐射衰减而发光。

3、制备oled显示器件主流的主要方式是真空加热镀膜，即在真空腔体内使用坩埚加热oled材料，使其在一定温度下升华或者熔融汽化成蒸汽，蒸镀在基板上。当oled材料蒸镀完的情况下，需要降温开腔添加材料，降温时长通常需要4～6小时，随着坩埚温度与环境温差越来越小，传导效率越来越小，静置的时间越长，影本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种新型蒸镀坩埚装置，包括坩埚，其特征在于，还包括：

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述冷却板内设置有冷却液及循环通道，根据控制操作使冷却液循环或停止循环。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于：所述冷却液为乙二醇或三元乙丙橡胶。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于：两坩埚罩在第一方向上可分离地相对设置于所述坩埚的外部，两冷却板在第二方向上可分离地相对设置于所述坩埚的外部，所述第一方向与第二方向在水平面上呈垂直关系，所述坩埚罩与所述冷却板不在同一时间拼合。

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【技术特征摘要】

1.一种新型蒸镀坩埚装置，包括坩埚，其特征在于，还包括：

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述冷却板内设置有冷却液及循环通道，根据控制操作使冷却液循环或停止循环。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于：所述冷却液为乙二醇或三元乙丙橡胶。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于：两坩埚罩在第一方向上可分离地相对设置于所述坩埚的外部，...

【专利技术属性】
技术研发人员：温质康，黄世勋，乔小平，
申请(专利权)人：华映科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：

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