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分子束外延生长InGaAs/InP的界面处理方法技术
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文档序号:40243743
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本发明提供了一种分子束外延生长InGaAs/InP的界面处理方法,用以在InP材料上生长InGaAs外延层以及在InGaAs材料上生长InP外延层,本发明所述的分子束外延生长InGaAs/InP的界面处理方法,通过引入薄InP或InGaAs...
该专利属于苏州焜原光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州焜原光电有限公司授权不得商用。
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