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光学装置及飞秒激光加工系统制造方法及图纸
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文档序号:40243363
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本发明公开了一种光学装置及飞秒激光加工系统,所述光学装置包括:光源部、超长焦深调制模块及载物台,所述光源部用于发出激光;所述超长焦深调制模块用于接收激光,并将激光调制为超长聚焦深度的聚焦光场;所述载物台用于承载样品,所述聚焦光场加工所述样品...
该专利属于无锡光子芯片联合研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过无锡光子芯片联合研究中心授权不得商用。
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