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本实用新型涉及一种校准洗边机台的晶圆片，其特征在于：在晶圆片上设置有多组对准标记，各组对准标记分别与晶圆片边缘相距有预先设定的洗边宽度。每组对准标记包括有至少一个对准标识，且同一组的对准标记均匀分布在与晶圆片同心的圆周上，每组对准标记距离晶...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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