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本发明属于金属靶材制备技术领域,公开了一种改善晶粒大小均匀性的金属靶材的制备方法。所述制备方法为:对金属铸锭采用镦粗拔长相结合的锻造方式,先拔长至原高度的130%~170%,再镦粗至原高度的40%~60%;将一次锻造后的工件经一次热处理去除...该专利属于先导薄膜材料(安徽)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先导薄膜材料(安徽)有限公司授权不得商用。
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本发明属于金属靶材制备技术领域,公开了一种改善晶粒大小均匀性的金属靶材的制备方法。所述制备方法为:对金属铸锭采用镦粗拔长相结合的锻造方式,先拔长至原高度的130%~170%,再镦粗至原高度的40%~60%;将一次锻造后的工件经一次热处理去除...