下载无掩模曝光装置和显示装置的技术资料

文档序号:40227678

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本公开涉及一种无掩模曝光装置和一种显示装置。该无掩模曝光装置包括:光源,用于发射曝光光束;光调制器,用于根据曝光图案调制曝光光束;光学系统,用于以光束点阵列的形式将已调制的曝光光束传送到基底上;位置确定单元,用于生成在光束点阵列和基底之间的...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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