专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
三星显示有限公司
>
无掩模曝光装置和显示装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载无掩模曝光装置和显示装置的技术资料
文档序号:40227678
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开涉及一种无掩模曝光装置和一种显示装置。该无掩模曝光装置包括:光源,用于发射曝光光束;光调制器,用于根据曝光图案调制曝光光束;光学系统,用于以光束点阵列的形式将已调制的曝光光束传送到基底上;位置确定单元,用于生成在光束点阵列和基底之间的...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。