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本发明提供一种能够不受限于粒径而提高微粒数的测定精度且能够迅速测定的微粒测定装置。微粒测定装置具有：第一及第二微粒计数器(12A、12B)，获得在超纯水制造装置的给定的区间流动的水中所含的微粒数；和微粒数计算单元(12C)，基于第一和第二微...
该专利属于奥加诺株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过奥加诺株式会社授权不得商用。

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