【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本申请基于2021年6月14日提出的日本申请特愿2021-098602，并主张基于该申请的优先权。该申请的全部内容通过参照而援引于本申请。本专利技术涉及一种微粒测定装置和具备其的超纯水制造装置以及微粒测定方法，特别涉及一种通过超纯水制造装置制造出的超纯水的微粒数的测定装置。
技术介绍
1、近年来，对超纯水的水质的要求变得愈发严格，对于超纯水中的微粒也要求将更小的微粒降低至低浓度且稳定地进行管理。关于超纯水中的微粒数，使用光散射方式的液体微粒计数器(lpc)，该计数器利用了向对象微粒照射激光时从微粒发出的散射光(国际公开第2020/241476号)。另外，为了不仅判别超纯水中的微粒的数量，还判别微粒的粒径、形状，使用直接镜检法(日本特开2016-55240号公报)。在直接镜检法中，利用光学显微镜、扫描型电子显微镜等观察被过滤膜所捕捉的微粒。
技术实现思路
1、在lpc中，在检测出粒径50nm以下等微小粒径范围内的微粒的情况下，将聚光而提高了光密度的激光照射到流通池内的极少一部分区域。这样的lpc也被称为部分计数型光散射式lpc。在部分计数型光散射式lpc中，即使是相同大小的微粒所检测出的光强度也根据通过激光的场所而变化、或者无法检测到不通过激光的微粒这样的微粒数浓度测定值的不确定性大。与此相对，在直接镜检法中，通过使用孔径比测定对象的微粒的粒径小的过滤膜，能够按各个粒径范围准确地评价微粒数。但是，为了得到试样，需要长时间的过滤，难以迅速地掌握超纯水中的微粒数的变动。
2、
3、本专利技术的微粒测定装置具有：第一及第二微粒计数器，获得在超纯水制造装置的给定的区间流动的水中所含的微粒数；以及微粒数计算单元，基于第一及第二微粒计数器的计测结果，按各个粒径范围计算在上述给定的区间流动的水中所含的微粒数，第一微粒计数器和第二微粒计数器的计数效率互不相同。
4、根据本专利技术，能够提供一种能够不受限于粒径而提高微粒数的测定精度且能够迅速测定的微粒测定装置。
5、上述以及其他的本申请的目的、特征以及优点通过参照例示了本申请的附图的以下描述的详细的说明而明确。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种微粒测定装置，其具有：
2.根据权利要求1所述的微粒测定装置，其中，
3.根据权利要求1或2所述的微粒测定装置，其中，
4.根据权利要求1～3中任一项所述的微粒测定装置，其中，
5.根据权利要求1～4中任一项所述的微粒测定装置，其中，
6.根据权利要求5所述的微粒测定装置，其中，
7.一种超纯水制造装置，其具有权利要求1～6中任一项所述的微粒测定装置和构成所述超纯水制造装置的最下游的膜过滤装置。
8.根据权利要求7所述的超纯水制造装置，其中，
9.根据权利要求8所述的超纯水制造装置，其中，
10.一种超纯水中的微粒测定方法，其具有如下处理：
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种微粒测定装置，其具有：
2.根据权利要求1所述的微粒测定装置，其中，
3.根据权利要求1或2所述的微粒测定装置，其中，
4.根据权利要求1～3中任一项所述的微粒测定装置，其中，
5.根据权利要求1～4中任一项所述的微粒测定装置，其中，
6.根据权利要求5所述的微粒...
【专利技术属性】
技术研发人员：市原史贵，菅原广，近藤司，须藤史生，
申请(专利权)人：奥加诺株式会社，
类型：发明
国别省市：
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