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本技术涉及半导体分子泵轴承设备技术领域，且公开了一种具有散热结构的保护装置，该具有散热结构的保护装置，包括内轴套，所述内轴套圆周外表面固定连接有内圈，所述内圈圆周外表面中部活动连接有滚珠，所述滚珠外表面设置有外圈，所述内轴套内壁活动连接有前...
该专利属于上海富玖帕精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海富玖帕精密设备有限公司授权不得商用。

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