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三维存储装置及其形成方法制造方法及图纸
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文档序号:40210593
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在某些方面,一种三维(3D)存储装置包括:堆叠结构,该堆叠结构包括交错的导电层和电介质层并且在平面图中具有核心阵列区域和阶梯区域;一个或多个沟道结构,均延伸穿过堆叠结构的核心阵列区域;以及一个或多个接触结构,均延伸穿过堆叠结构,其中一个或多...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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