下载一种旋转式石英砂高温氯化炉的技术资料

文档序号:40208339

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本发明是一种旋转式石英砂高温氯化炉,包括氯化炉体、气体输送管、转动装置、发热体、炉壳和支架;氯化炉体上下两端均安装有转动装置,上端外接测温电偶、气体压力传感器和进料口,下端外接排气口、出料口,内壁有挡板,外周安装有发热体;气体输送管从氯化炉...
该专利属于南京工业大学东海先进硅基材料研究院所有,仅供学习研究参考,未经过南京工业大学东海先进硅基材料研究院授权不得商用。

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