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本技术涉及一种高透光膜测量设备，包括走料台、遮光件和位移光电传感器。走料台用于放置和传送高透光膜，遮光件用于压合高透膜，以使高透膜与走料台之间不存在间隙。位移光电传感器位于与遮光件相对的位置，用于测量其与遮光件的距离。其中，遮光件具有第一位...
该专利属于深圳市天晟微电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市天晟微电子材料有限公司授权不得商用。

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