下载叠层太阳能电池的制作方法的技术资料

文档序号:40206172

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本申请涉及太阳能电池技术领域,特别是涉及叠层太阳能电池的制作方法。本申请实施例中,通过热蒸发工艺在第一电池的第一掺杂多晶硅层上形成复合层,相较于采用溅射工艺等其他工艺制作复合层的方式而言,由于热蒸发工艺的离子动能较低,可以降低对第一掺杂多晶...
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