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本发明公开了一种金属氮化物MN(M＝Al或Cr)/氧化物M’<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;(M’＝Al、Y或Er)复合陶瓷抗蚀阻氚涂层制备方法，属于涂层技术领域。本发明通过金属有机...
该专利属于安徽大学所有，仅供学习研究参考，未经过安徽大学授权不得商用。

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