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本发明提供一种惯性器件及其制作方法。该惯性器件的制作方法包括：在第一衬底上形成阻挡层，阻挡层共型地覆盖第一衬底上的顶部线路图形层；在阻挡层上形成第一牺牲层，第一牺牲层覆盖阻挡层且填满顶部线路图形层中线路之间的凹坑；以阻挡层作为停止层对第一牺...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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