下载漏电流测量结构和测量方法、以及测量结构的形成方法的技术资料

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一种漏电流测量结构和测量方法、以及测量结构的形成方法,漏电流测试方法,包括:提供测试结构,所述测试结构包括第一测试结构和第二测试结构,所述第一测试结构包括第一MOS器件,所述第二测试结构包括第二MOS器件;将所述第一MOS器件的基底和栅极接...
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