下载一种硅氧烷类疏水膜层及其制备方法的技术资料

文档序号:40200211

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本发明的具体实施方式提供一种硅氧烷类疏水膜层及其制备方法,所述硅氧烷类疏水膜层由硅氧烷类单体等离子体聚合沉积形成,制备过程中,通过在单体蒸汽进气口与基材之间设置纱网,并且同时,所述基材在反应腔室中旋转运动,有效克服硅氧烷单体蒸汽直接进入等离...
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