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本发明提供一种光学设备及其工作方法，光学设备包括：物镜和中继镜组，中继镜组用于使滤波面与物镜的光瞳面共轭，光瞳面为物镜靠近中继镜组一侧的焦平面，中继镜组的光轴与物镜的光轴具有非零夹角，滤波面与到达滤波器的入射光中心轴不垂直，物镜位于样品与中...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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