下载基于应力光学效应的光移相器结构的技术资料

文档序号:40200162

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本发明提供一种基于应力光学效应的光移相器结构,光移相器结构包括:波导层结构,波导层结构包括相位调制区;移相元件,设置于波导层结构的相位调制区上;沟槽隔离区,设置于相位调制区的外周缘,用于将相位调制区与沟槽隔离区以外的外围区域隔离,以限制移相...
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