下载抛光盘表面形状修整装置及方法的技术资料

文档序号:40199714

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本发明公开了抛光盘表面形状修整装置及方法,其中所述抛光盘表面形状修整装置包括底座,所述底座上设有支撑盘,所述支撑盘上能够安装下抛盘,所述支撑盘上方设有盖盘,所述盖盘下能够安装上抛盘,所述下抛盘与上抛盘间分布有多个载体盘,每个所述载体盘中装有...
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