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本实施例提供了一种超临界流体制造装置，属于晶圆清洗，包括气源、第一缓冲组件、第二缓冲组件和干燥组件。其中气源内储存并提供介质；第一缓冲组件与气源通过管道连接，第一缓冲组件适于消除液体介质内的脉动；第二缓冲组件与第一缓冲组件通过管路连接，第二...
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